010-87681080

產(chǎn)品中心

PRODUCTS CNTER

當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心實驗檢測儀器光學(xué)輪廓顯微鏡PZ-Mico D納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量

納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量

產(chǎn)品簡介

納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量系統(tǒng)基于白光干涉儀原理、結(jié)合Z向精密壓電掃描模塊和三維重建算法準(zhǔn)確獲 得各種精密器件和材料表面形貌數(shù)據(jù)，適用于反 射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多種表面測量求，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級精度測量、重構(gòu)表面形 貌3D輪廓。

產(chǎn)品型號：PZ-Mico D
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
訪問量：700
詳細介紹在線留言

納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量系統(tǒng)基于白光干涉儀原理、結(jié)合Z向精密壓電掃描模塊和三維重建算法準(zhǔn)確獲 得各種精密器件和材料表面形貌數(shù)據(jù)，適用于反 射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多種表面測量求，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級精度測量、重構(gòu)表面形 貌3D輪廓。


納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量


納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量技術(shù)參數(shù)：

型號：PZ-Mico D

測試技術(shù)： 3D相干掃描干涉法，抗震算法，移相干涉法

光源：固態(tài)白光光源，軟件控制切換光譜（VSI和PSI）

掃描裝置：精密壓電陶瓷驅(qū)動，閉環(huán)反饋電容控制精密壓電陶瓷

像素分辨率：1280X1024

視場：  10倍范圍1200X950

縱向掃描范圍：25mm

橫向分辨率：0.05-2.68µm

軸向分辨率：VSI：0.5nmPSI：0.1nm

臺階高度精度（示值誤差）±0.1nm（5µm標(biāo)準(zhǔn)臺階）

臺階高度重復(fù)性：0 . 1％1σ（5µm標(biāo)準(zhǔn)臺階

粗糙度 RMS 2

粗糙度RMS重復(fù)性:0.01nm

被測樣品反射率：0.05%-100%

Z軸：電動Z平臺100mm，1μm分辨率）

位移臺：電控平臺移動范圍XY:100x100mm


納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量

納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量

產(chǎn)品細節(jié)

納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量

納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量

納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量

應(yīng)用范圍



納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量





 

在線留言

留言框

  • 產(chǎn)品：

  • 您的單位：

  • 您的姓名：

  • 聯(lián)系電話：

  • 常用郵箱：

  • 省份：

  • 詳細地址：

  • 補充說明：

  • 驗證碼：

    請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

關(guān)注微信號

移動端瀏覽
熱線電話：010-87681080

Copyright © 2024北京品智創(chuàng)思精密儀器有限公司 All Rights Reserved    備案號：京ICP備19005501號-1

技術(shù)支持：化工儀器網(wǎng)
管理登錄    sitemap.xml