光學(xué)膜厚儀Filmetrics F20UVX在半導(dǎo)體制造的應(yīng)用

Filmetrics F20薄膜測厚儀

經(jīng)濟有效的Filmetrics薄膜厚度測量系統(tǒng),測量薄膜厚度僅需幾秒鐘。Filmetrics系列膜厚測試儀擁有單點測量、顯微鏡斑點測量、自動測繪系統(tǒng)、在線監(jiān)測等功能型號的膜厚測試儀產(chǎn)品。Filmetrics 膜厚測試儀產(chǎn)品輕點鼠標(biāo)就能測量1納米到13毫米的單層薄膜或多層薄膜堆厚度。幾乎所有的材料都可以被測量。直觀的設(shè)計意味著您能在幾分鐘內(nèi)完成個薄膜厚度測量！
產(chǎn)品介紹：
1 有五種不同波長選擇(波長范圍從紫外220nm至近紅外1700nm)；
2 大樣品薄膜厚度的測量范圍是：3nm ～ 25um；
3 精度為好于0.1nm。

產(chǎn)品特性：
1 、操作簡單、使用方便；
2 、測量快速、準(zhǔn)確；
3 、體積小、重量輕；
4 、價格便宜。

產(chǎn)品應(yīng)用：
1 、半導(dǎo)體行業(yè): 光阻、氧化物、氮化物；
2 、 LCD 行業(yè): 液晶盒間隙厚度、 Polyimides；
3 、光電鍍膜應(yīng)用: 硬化膜、抗反射膜、濾波片。

的技術(shù)
我們通過分析光如何從薄膜反射來測量薄膜厚度。通過分析肉眼看不見的光譜我們能測量幾乎所有超過100原子厚度的非金屬薄膜。因為不涉及任何移動設(shè)備，幾秒鐘之內(nèi)就能測出：薄膜厚度，折射率，甚至粗燥度！